용기제원

본문 바로가기
사이트 내 전체검색

용기제원

순수가스

가스명
Name of Gas
순도(%) 용기(L) 충전량 밸브규격
N2
초고순도 질소
99.9999 10
47
1 m³
7 m³
∮22 - 14 山 右
O2
초고순도 산소
99.995 10
47
1.5 m³
7 m³
∮23 - 14 山 右
H2
초고순도 수소
99.9999 10
47
1.5 m³
7 m³
∮22 - 14 山 左
Ar
초고순도 알곤
99.9999 10
47
1.5 m³
7 m³
∮23 - 14 山 右
He
초고순도 헬륨
99.9999 10
47
1.5 m³
7 m³
∮23 - 14 山 右

액화가스

가스명
Name of Gas
순도(%) 용기(L) 충전량
LAr
고순도 액화알곤
99.9997 CE
3 Ton
5 Ton
10 Ton
15 Ton
20 Ton
30 Ton

2,900ℓ
4,900ℓ
8,900ℓ
13,500ℓ
18,000ℓ
27,000ℓ
LN2
고순도 액화질소
99.9997
LO2
액화산소
99.7

CVD용 가스

가스명
Name of Gas
순도(%) 용기(L) 충전량 밸브규격
NH3
암모니아
99.9995, 99.99997 47
930
20 kg
500 kg
∮22 - 14 山 左
CH4
메탄
99.9995 47 2.5 m³ ∮22 - 14 山 左
N2O
아산화질소
99.999 47 30 kg ∮22 - 14 山 右
WF6
육불화텅스텐
99.999 10 5 kg ∮22 - 14 山 右

실란계 가스

가스명
Name of Gas
순도(%) 용기(L) 충전량 밸브규격
SiH4
모노실란
99.9999 47 10kg ∮22 - 14 山 左
Si2H6
디실란
99.99 10 0.2 kg
0.3, 0.5
kg
1.2 kg
∮22 - 14 山 左
SiCl4
테트라클로로실란
99.9999 30 (SUS제) 30 kg
SiH2Cl2
디클로로실란
99.9% 40 (SUS제) 40 kg ∮22 - 14 山 右
SiF4
테트라플루오르실란
99.999 47 5 kg ∮22 - 14 山 右

주소 경상남도 양산시 상북면 소토 2길 29-33 | Tel 055-375-1212 | Fax 055-374-0134 | E-mail master@kosem.kr
Copyright © 한국에스이엠(주) All rights reserved.