| 가스명 Name of Gas |
순도(%) | 용기(L) | 충전량 | 밸브규격 |
|---|---|---|---|---|
| N2 초고순도 질소 |
99.9999 | 10 47 |
1 m³ 7 m³ |
∮22 - 14 山 右 |
| O2 초고순도 산소 |
99.995 | 10 47 |
1.5 m³ 7 m³ |
∮23 - 14 山 右 |
| H2 초고순도 수소 |
99.9999 | 10 47 |
1.5 m³ 7 m³ |
∮22 - 14 山 左 |
| Ar 초고순도 알곤 |
99.9999 | 10 47 |
1.5 m³ 7 m³ |
∮23 - 14 山 右 |
| He 초고순도 헬륨 |
99.9999 | 10 47 |
1.5 m³ 7 m³ |
∮23 - 14 山 右 |
| 가스명 Name of Gas |
순도(%) | 용기(L) | 충전량 |
|---|---|---|---|
| LAr 고순도 액화알곤 |
99.9997 |
CE 3 Ton 5 Ton 10 Ton 15 Ton 20 Ton 30 Ton |
2,900ℓ 4,900ℓ 8,900ℓ 13,500ℓ 18,000ℓ 27,000ℓ |
| LN2 고순도 액화질소 |
99.9997 | ||
| LO2 액화산소 |
99.7 |
| 가스명 Name of Gas |
순도(%) | 용기(L) | 충전량 | 밸브규격 |
|---|---|---|---|---|
| NH3 암모니아 |
99.9995, 99.99997 | 47 930 |
20 kg 500 kg |
∮22 - 14 山 左 |
| CH4 메탄 |
99.9995 | 47 | 2.5 m³ | ∮22 - 14 山 左 |
| N2O 아산화질소 |
99.999 | 47 | 30 kg | ∮22 - 14 山 右 |
| WF6 육불화텅스텐 |
99.999 | 10 | 5 kg | ∮22 - 14 山 右 |
| 가스명 Name of Gas |
순도(%) | 용기(L) | 충전량 | 밸브규격 |
|---|---|---|---|---|
| SiH4 모노실란 |
99.9999 | 47 | 10kg | ∮22 - 14 山 左 |
| Si2H6 디실란 |
99.99 | 10 | 0.2 kg 0.3, 0.5 kg 1.2 kg |
∮22 - 14 山 左 |
| SiCl4 테트라클로로실란 |
99.9999 | 30 (SUS제) | 30 kg | |
| SiH2Cl2 디클로로실란 |
99.9% | 40 (SUS제) | 40 kg | ∮22 - 14 山 右 |
| SiF4 테트라플루오르실란 |
99.999 | 47 | 5 kg | ∮22 - 14 山 右 |
