특수가스

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특수가스

반도체용 특수가스

반도체용 특수가스(순가스 및 혼합가스)는 반도체 제조 및 연구용, TFT-LCD 제조용으로 사용되며, 종류가 다양하며 초고순도가 요구됩니다. 당사는 주요가스 별로 국내제조 및 수입을 통해 철저한 품질관리를거쳐 수요처에 공급하고 있습니다.

SiH4 CI2 N2O C4F8
SiH2CI2 BCI3 NH3 HCI
Si2H6 BF3 CF4 SICI4
AsH3 PH3 CO SF6
B2H6 WF6 C3F8 NF3

용도

  • 1) 반도체 제조
  • 2) 반도체 제조 연구

기타 특수가스

기타 특수가스는 당사에서 벨기에 Solvay사의 국내공급판권을 가지고 있는 SF6등이 있으며, 다양한 특수가스를 국내외 수요처에 공급하고 있습니다.

SF6(육불화황) Kr
CH4(메탄) Ne
HCI Xr

용도

  • 1) SF6(육불화황) : 전기절연용 등
  • 2) CH4 (메탄) : 연소용, 연소기기시험용, 금속열처리용, 화학제품원료 등
  • 3) HCI : 제약합성 등
  • 4) Kr, Ne, Xe : 특수전구용 등
  • 5) 혼합가스

표준가스 및 혼합가스

표준가스 및 혼합가스는 각종 분석기의 보정, 공정관리 및 품질관리용으로 사용되며, 미량성분의 혼합과 분석의 정밀도가 가장 중요합니다. 당사 표준가스는 철저한 품질관리와 정밀 분석법으로 고객의 요구에 부응하고 있습니다.

CO-N2-CO2 H2S-N2
CO-N2-O2 C2H4-N2
He-N2 He-H2
C3H8-N2-O2 H2-Ar
H2-N2 Others

용도

  • 1) 대기오염 측정
  • 2) 연소실험
  • 3) 자동차 배기가스 측정
  • 4) 석유화학제조공정 감시용 분석기
  • 5) 각종 분석기용 표준가스

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