반도체용 특수가스(순가스 및 혼합가스)는 반도체 제조 및 연구용, TFT-LCD 제조용으로 사용되며, 종류가 다양하며 초고순도가 요구됩니다. 당사는 주요가스 별로 국내제조 및 수입을 통해 철저한 품질관리를거쳐 수요처에 공급하고 있습니다.
| SiH4 | CI2 | N2O | C4F8 |
| SiH2CI2 | BCI3 | NH3 | HCI |
| Si2H6 | BF3 | CF4 | SICI4 |
| AsH3 | PH3 | CO | SF6 |
| B2H6 | WF6 | C3F8 | NF3 |
| PF3 | PH3/N2 | NO | HBr |
| C2F6 | CHF3 |
| SF6(육불화황) | Kr |
| CH4(메탄) | Ne |
| HCI | Xr |
표준가스 및 혼합가스는 각종 분석기의 보정, 공정관리 및 품질관리용으로 사용되며, 미량성분의 혼합과 분석의 정밀도가 가장 중요합니다. 당사 표준가스는 철저한 품질관리와 정밀 분석법으로 고객의 요구에 부응하고 있습니다.
| CO-N2-CO2 | H2S-N2 |
| CO-N2-O2 | C2H4-N2 |
| He-N2 | He-H2 |
| C3H8-N2-O2 | H2-Ar |
| H2-N2 | Others |
| NH3 mix | CO mix |
| SO2 mix | NO mix |
