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액체알곤(Argon, Refrigerated Liquid)
07-28
34
H2 5%/N2
04-29
33
CHF3 (fluoroform) 플루오로폼
09-26
32
Air (Compressed Air) 공기
09-26
31
PF3 (Phosphorus trifluoride) 트라이플루오린화 인, 삼불화 인
09-26
30
NO (Nitric oxide, Nitrogen monooxide) 산화질소, 일산화질소
09-26
29
C4H10 (Butane) 부탄, 뷰테인
09-26
28
C2H4O (Ethylene Oxide, EO) 산화 에틸렌
09-26
27
Ar (Argon) 알곤
11-01
26
LPG (liquefied petroleum gas) 액화석유가스
11-01
25
Xe (Xenon) 제논
11-01
24
SIH4 (Silane) 실란, 실레인
11-01
23
SIH2CI2 (Dichlorosilane) 디클로로실란
11-01
22
SI2H6 (Disilane) 디실란
11-01
21
SF6 (Sulfur hexafluoride) 육불화 황
11-01
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